スパッタ法によるZnO薄膜の光学定数温度依存性

スパッタ法によるZnO薄膜の光学定数温度依存性

スパッタホウ ニヨル ZnO ハクマク ノ コウガク テイスウ オンド イゾンセイ

北村武志

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2004.3

学位論文

巻号情報

全1件
No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

R003073

2

  • [MS]2004(5)

禁帯出

詳細情報

刊年

2004

別書名

Temperature dependence of optical characteristics of ZnO thin film made by sputtering

シリーズ名

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2004年3月

注記

学位記番号: 修第2725号

授与年月日: 2004/03/24

学生番号: 0231024

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

北村, 武志 (キタムラ, タケシ)

件名

薄膜

光学定数

ZnO