デンシセン トウエイ ロコウ ニ ヨル キョウユウ デンタイ ビショウ キャパシタ ノ サクセイ ト ソノ デンキテキ トクセイ ノ ヒョウカ
岩瀬拓麻
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2004.3
学位論文2004
Fabrication of ferroelectric microcapacitors by electron-beam-projection process and accurate evaluation of their electrical properties
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2004年3月
学位記番号: 修第2712号
授与年月日: 2004/03/24
学生番号: 0231009
日本語 (jpn)
日本語 (jpn)
岩瀬, 拓麻 (イワセ, タクマ)