超薄膜銀蒸着シリコン(111)表面への活性ガスの吸着脱離

超薄膜銀蒸着シリコン(111)表面への活性ガスの吸着脱離

チョウハクマク ギン ジョウチャク シリコン 111 ヒョウメン エノ カッセイガス ノ キュウチャク ダツリ

研究代表者服部賢

[生駒] : [奈良先端科学技術大学院大学], 2002.3

学内論文

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No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

  • KAKENS

R002381

2

図書館
  • KAKENB
  • 2002
  • 6

0032174

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詳細情報

刊年

2002

形態

1冊 ; 30 cm

別書名

平成12年度-平成13年度学研究費補助金基盤研究(C)研究成果報告書

シリーズ名

科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書 ; 平成12-13年度

注記

課題番号12640313

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

服部, 賢 (ハットリ. ケン)

NCID

BA59408956

番号

KAKEN : 12640313

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