強誘電体薄膜のFIB微細加工と微小領域特性の評価

強誘電体薄膜のFIB微細加工と微小領域特性の評価

キョウユウデンタイ ハクマク ノ FIB ビサイ カコウ ト ビショウ リョウイキ トクセイ ノ ヒョウカ

磯部孝

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2002.3

学位論文

巻号情報

全1件
No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

R002289

2

  • [MS]2002(2)

禁帯出

詳細情報

刊年

2002

シリーズ名

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2002年3月

注記

学位記番号: 修第2032号

授与年月日: 2002/03/22

学生番号: 0031008

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

磯部, 孝 (イソベ, タカシ)