RFマグネトロンスパッタリングによる強誘電体薄膜用BaPbO3電極の作製と評価

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RF マグネトロン スパッタリング ニヨル キョウユウデンタイ ハクマクヨウ BaPbO3 デンキョク ノ サクセイ ト ヒョウカ

寺浦亮

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2001.3

学位論文

巻号情報

全1件
No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

R001938

2

  • [MS]2001(10)

禁帯出

詳細情報

刊年

2001

シリーズ名

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2001年3月

注記

学位記番号: 修第1757号

授与年月日: 2001/03/23

学生番号: 9931055

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

寺浦, 亮 (テラウラ, リョウ)