窒素励起活性種を用いて作成した極薄シリコン酸窒化膜の電子物性評価

窒素励起活性種を用いて作成した極薄シリコン酸窒化膜の電子物性評価

チッソ レイキ カッセイシュ ヲ モチイテ サクセイ シタ ゴクハク シリコン サン チッカマク ノ デンシ ブッセイ ヒョウカ

笹井秀明

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2001.3

学位論文

巻号情報

全1件
No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

R001920

2

  • [MS]2001(6)

禁帯出

詳細情報

刊年

2001

シリーズ名

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2001年3月

注記

学位記番号: 修第1738号

授与年月日: 2001/03/23

学生番号: 9931034

標題言語

日本語 (jpn)

著者情報

笹井, 秀明 (ササイ, ヒデアキ)