電子線照射による前駆体膜改質を利用した強誘電体キャパシタの作製と特性改善に関する研究

電子線照射による前駆体膜改質を利用した強誘電体キャパシタの作製と特性改善に関する研究

デンシセン ショウシャ ニ ヨル ゼンク タイマク カイシツ ヲ リヨウ シタ キョウユウ デンタイ キャパシタ ノ サクセイ ト トクセイ カイゼン ニ カンスル ケンキュウ

古林智一

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2001.3

学位論文

巻号情報

全1件
No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

R001913

2

  • [MS]2001(5)

禁帯出

詳細情報

刊年

2001

シリーズ名

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2001年3月

注記

学位記番号: 修第1731号

授与年月日: 2001/03/23

学生番号: 9931027

標題言語

日本語 (jpn)

著者情報

古林, 智一 (コバヤシ, トモカズ)