強誘電体(Pb,La)TiO3薄膜を用いたMFIS構造の高周波マグネトロンスパッタ法による作製とその特性評価

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キョウユウデンタイ ナマリ ランタン サンサンカ チタン ハクマク オ モチイタ MFIS コウゾウ ノ コウシュウハ マグネトロン スパッタホウ ニ ヨル サクセイ ト ソノ トクセイ ヒョウカ

水谷陽司

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2000.3

学位論文

巻号情報

全1件
No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

R001422

2

  • [MS]2000(17)

禁帯出

詳細情報

刊年

2000

シリーズ名

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2000年3月

注記

学位記番号: 修第1438号

授与年月日: 2000/03/24

学生番号: 9831096

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

水谷, 陽司 (ミズタニ, ヨウジ)