CW レーザー ケッショウ カ ニ ヨル テイオン タンケッショウ SOI コウゾウ ノ ケイセイ ト ハクマク トランジスタ トクセイ ニ カンスル ケンキュウ
髙山智之
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2025.9
学位論文2025
Study on Formation of Low-Temperature Single-Crystal SOI Structure by CW Laser Crystallization and Thin Film Transistor Characteristics
奈良先端科学技術大学院大学先端科学技術研究科博士論文 ; 2025年9月
学位記番号: 2200
報告番号: 甲第2200号
学位授与年月日: 2025/09/30
学位の種類: 博士（工学）
日本語 (jpn)
日本語 (jpn)
髙山, 智之 (タカヤマ, サトシ)
