詳細情報

刊年

2025

別書名

MOSFETとマイクロ集光型太陽電池モジュールにおけるスケーラブル小型化のためのプロセス革新

シリーズ名

奈良先端科学技術大学院大学先端科学技術研究科博士論文 ; 2025年9月

注記

学位記番号: 2192

報告番号: 甲第2192号

学位授与年月日: 2025/09/30

学位の種類: 博士（工学）

標題言語

英語 (eng)

本文言語

英語 (eng)

著者情報

髙瀨, 道彦 (タカセ, ミチヒコ)

件名

miniaturization

MOSFET

CPV

shallow junction

plasma doping

pocket implantation