AlGe ペースト オ モチイタ Si キバンジョウ エノ SiGe ノ ケッショウ セイチョウ ニ カンスル ケンキュウ
鈴木紹太
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2023.3
1
R018351
R018413
2023
Research on SiGe crystal growth on Si substrate using AlGe paste
奈良先端科学技術大学院大学先端科学技術研究科博士論文 ; 2023年3月
学位記番号: 博第1970号
報告番号: 甲第1970号
学位授与年月日: 2023/03/31
学位の種類: 博士(工学)
日本語 (jpn)
鈴木, 紹太 (スズキ, ショウタ)
SiGe
液相成長
AlGe
スクリーン印刷
SiGe液相成長AlGeスクリーン印刷
