コウデンシ ホログラフィー オ モチイタ Si ハンドウタイ ノ ショキ サンカ ゲンシ ハイレツ オヨビ As B キョウドーパント ノ リッタイ コウゾウ カイセキ
竹内走一郎
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2022.3
学位論文2022
Structural analysis of initial oxide atomic arrangement and As and B co-dopants in Si semiconductors using photoelectron holography.
奈良先端科学技術大学院大学先端科学技術研究科修士論文 ; 2022年3月
学位記番号: 修第8961号
学位授与年月日: 2022/03/31
学位の種類: 修士(工学)
日本語 (jpn)
日本語 (jpn)
竹内, 走一郎 (タケウチ, ソウイチロウ)
