The Growth of an Extended {100}-Oriented Grain Boundary Free Silicon Film on Insulators by Continuous Wave Laser Crystallization

The Growth of an Extended {100}-Oriented Grain Boundary Free Silicon Film on Insulators by Continuous Wave Laser Crystallization

Muhammad Arif Bin Razali

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2021.9

学位論文

巻号情報

全2件
No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

R017542

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1

  • Abstract

R017573

詳細情報

刊年

2021

別書名

連続発振レーザー結晶化による絶縁体上の無粒界 {100} 配向シリコン薄膜の持続成長

シリーズ名

奈良先端科学技術大学院大学先端科学技術研究科博士論文 ; 2021年9月

注記

学位記番号: 博第1814号

報告番号: 甲第1814号

学位授与年月日: 2021/09/30

学位の種類: 博士(工学)

標題言語

英語 (eng)

本文言語

英語 (eng)

著者情報

Muhammad Arif Bin Razali

件名

Crystallization

Polycrystalline Silicon

Green Laser

Continuous Wave

Grain Boundary Free

Single Crystalline