第 12 節 化学溶液法によるタングステンブロンズ型強誘電体薄膜の合成 1 はじめに 2 化学溶液法による合成プロセス 3 ニオブ酸塩タングステンブロンズ強誘電体膜の合成例 3.1 (Sr,Ba)Nb2O6[SBN]およびK置換SBN[KSBN]膜 3.2 Sr2KNb5O15[SKN]膜 3.3 (Pb,Ba)Nb2O6[PBN]およびK置換PBN[KPBN]膜 3.4 Ba2NaNb5O15[BNN]膜 4 まとめ

坂本 渉, 余語 利信,平野 眞一