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第 4 節 積層圧電アクチュエータの変位特性に寄与する内部電極構造因子の解析 1 はじめに 2 積層圧電アクチュエータの変位量を決定する因子 3 積層圧電アクチュエータにおける内部電極構造と変位特性との関係 3.1 内部電極層自体による変位阻害の実証 3.2 端面圧電不活性部による変位阻害の実証 4 内部電極層自体の変位阻害のシミュレーション技術と解析結果 4.1 シミュレーション技術の必要性 4.2 シュミレーション手法(FEM 解析) 4.3 電位分布の内部電極層構
堀川 勝弘, 白露 幸祐
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積層デバイス作成の極意,
p.490-501
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