第 9 章 積層圧電素子 第 1 節 積層圧電アクチュエータで駆動するマイクロロボット 1 はじめに 2 積層圧電アクチュエータとは 3 積層圧電アクチュエータの応用分野 3.1 半導体製造装置（マスフローコントローラ） 3.2 自動車への応用 3.3 他の半導体装置への応用 4 積層圧電アクチュエータで駆動するマイクロロボット 4.1 積層圧電アクチュエータと電磁石で駆動するマイクロロボット 4.1.1 積層圧電アクチュエータ 2 個並列型のマイクロロボット

加藤 好志, 高橋 貞行, 青山 尚之