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第 5 節 レーザ加工超小型積層チップインダクタにおける高精度印刷技術 1 はじめに 2 レーザ加工法 3 高精度印刷 3.1 実験方法 3.2 実験結果 4 積層チップインダクタへの応用 5 おわりに
井上 泰史, 藤本 正之
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積層デバイス作成の極意,
p.290-297
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