第 3 節 MOCVD 法による BST 薄膜積層コンデンサ 1 はじめに 2 成膜及び評価方法 3 結果及び考察 3.1 BST 単層薄膜 3.2 BST/Pt 薄膜積層コンデンサ 4 まとめ

第 3 節 MOCVD 法による BST 薄膜積層コンデンサ 1 はじめに 2 成膜及び評価方法 3 結果及び考察 3.1 BST 単層薄膜 3.2 BST/Pt 薄膜積層コンデンサ 4 まとめ

竹島 裕, 坂部 行雄

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積層デバイス作成の極意, p.131-141

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