第 7 節 BaTiO3 ナノ粒子を用いた電気泳動堆積法による薄膜キャパシタの作製 1 はじめに 2 高濃度ゾルゲル法による BaTiO3 ナノ粒子の合成と一次粒子単分散サスペンションの調製 3 電気泳動堆積法による BaTiO3 ナノ粒子堆積膜の形成 4 EPD 法による連続薄膜作製 5 連続 EPD 装置により作製した薄膜キャパシタの特性 6 まとめ

有村 雅司, 牧野 晃久, 藤吉 国孝