全反射蛍光X線分析法 : Siウエハの重金属汚染とその評価技術

全反射蛍光X線分析法 : Siウエハの重金属汚染とその評価技術

ゼンハンシャ ケイコウ Xセン ブンセキホウ : Siウエハ ノ ジュウキンゾク オセン ト ソノ ヒョウカ ギジュツ

東京 : サイエンスフォーラム, 1992

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巻号情報

全1件
No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

  • [MPDASH]

V001843

詳細情報

刊年

1992

G/SMD

(v-)

形態

ビデオカセット1巻(28分19秒)

シリーズ名

映像で見る半導体分析・評価のテクニック ; 1

注記

監修: 合志陽一

脚本: 重松達彦・角田成夫

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)